電子級氫氟酸的質量標準

因各微電子生產企業對電子級氫氟酸要求的標準不同,可將其劃分為四個檔次:


1、低檔產品,用于>1.2μmIC工藝技術的制作;


2、中低檔產品,適用于0.8~1.2μmIC工藝技術的制作;


3、中高dang產品,適用于0.2~0.6μmIC工藝技術的制作;


4、高dang產品(UPss),適用于0.09~0.2μm和<0.09μmIC工藝技術的制作。
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